2024气博会：赋能半导体材料新质生产力

芯片对于电子产品至关重要，直接影响其性能、效率和功耗。要实现国产芯片的大规模使用，上游设备和关键材料绕不开的问题。电子气体是非常重要半导体材料，其质量和性能对于芯片制造至关重要。2024气博会组委会主席任路表示，“现在已经进入中国电子气体2.0时代，我们更需要关注电子气体生产和运输过程中所需的关键零部件和母材、先进的气体分析仪器、气体过滤器、同位素技术和超低温介质储运装备等。”“聚焦基础科学研究、赋能半导体材料新质生产力。”任路补充道。为深入推进我国半导体材料”补链、强链、延链“工程，由气体圈子主办的“2024中国国际气体工业博览会（简称气博会）于2024年4月17-19日在江苏无锡太湖国际博览中心隆重举办，集中展示我国电子气体领域新技术、新设备、新产品和关键基础材料。电子气体与同位素专区：上海交通大学低温工程博士，低温精馏产业转化领军人物创立的万气精仪（苏州）有限公司将首次展示国内首创的微通道精馏技术生产稳定同位素的成套设备。山东威斯特科技有限公司将展示自主研发，用于半导体低温刻蚀工艺的电子级三氟化磷。同位素企业还有山东重山光和江苏正博诺，气体公司还包括杭氧特气、广钢气体、上海联风气体、苏州凯美电子和菏泽西冷化工等。

先进装备专区：液体氦气(-269 °C)是地球上最冷的物质，在半导体制造中，氦气被用作保护气体和冷却气体。长期以来，全球只有美国和德国可以做液氦ISO罐箱，除了价格昂贵之外，交货周期也很长。即便如此，我国企业还不一定能拿到购买名额。2023年，中国企业终于成功突破液氦超低温应用领域技术，实现超低温装备国产化。2024气博会，中集安瑞科和杭氧股份将首次公开展示他们自主研发和制造的液氦ISO罐箱。

气体纯化器专区包括湖北玖恩智能科技有限公司，大连莫斯科技有限公司、大连科立恩气体净化科技有限公司、大连华邦化学有限公司、上海先普气体技术有限公司。玖恩智能可将大宗气体及三十多种特气中的杂质脱除深度至1ppb以下，XCDA及CO2纯化能够达到1-10ppt水平。上海先普气体技术有限公司经过长时间研发和测试后推出的气体过滤器创新产品，通过四种过滤机理：筛滤、直接拦截、惯性影响和扩散拦截,能够实现高效、精密、纳米级的过滤效果，有效地提高了半导体生产过程中的气体纯度和质量。本届气博会历时3天，包括产品展示+技术推介+新品发布+贸易对接会+中国气体文史馆等多项活动。为半导体公司采购、生产、技术或供应链管理部门提供现场参观和交流平台，确保半导体材料供应链配置多元化、可靠性与业务连续性管理。2024气博会将吸引和集聚专家学者、行业领袖、技术精英深入研讨、凝聚智慧，围绕新设备、新技术、新应用等多维度呈现半导体材料最新进展和发展趋势，传递前沿科技信息和技术成果。